Trifluworidu tan-Nitroġenu (NF3) Gass ta' Purità Għolja
Informazzjoni Bażika
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
X'inhu dan il-materjal?
Nitrogen trifluoride (NF3) huwa gass bla kulur u bla riħa f'temperatura tal-kamra u pressjoni atmosferika. Jista 'jiġi likwifikat taħt pressjoni moderata. NF3 huwa stabbli taħt kundizzjonijiet normali u ma jiddekomponix faċilment. Madankollu, jista 'jiddekomponi meta espost għal temperaturi għoljin jew fil-preżenza ta' ċerti katalisti. NF3 għandu potenzjal għoli ta' tisħin globali (GWP) meta jiġi rilaxxat fl-atmosfera.
Fejn tuża dan il-materjal?
Aġent tat-tindif fl-industrija tal-elettronika: NF3 huwa użat ħafna bħala aġent tat-tindif għat-tneħħija ta 'kontaminanti residwi, bħal ossidi, mill-uċuħ tas-semikondutturi, pannelli tal-wiri tal-plażma (PDPs), u komponenti elettroniċi oħra. Tista 'tnaddaf dawn l-uċuħ b'mod effettiv mingħajr ma tagħmilhom ħsara.
Gass tal-inċiżjoni fil-fabbrikazzjoni tas-semikondutturi: NF3 jintuża bħala gass tal-inċiżjoni fil-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi. Huwa partikolarment effettiv fl-inċiżjoni tad-dijossidu tas-silikon (SiO2) u n-nitrur tas-silikon (Si3N4), li huma materjali komuni użati fil-fabbrikazzjoni ta 'ċirkwiti integrati.
Produzzjoni ta 'komposti tal-fluworin ta' purità għolja: NF3 huwa sors prezzjuż ta 'fluworin għall-produzzjoni ta' diversi komposti li fihom il-fluworin. Jintuża bħala prekursur fil-produzzjoni ta 'fluworopolimeri, fluworokarburi, u kimiċi ta' speċjalità.
Ġenerazzjoni tal-plażma fil-manifattura tad-displej tal-pannelli ċatti: NF3 jintuża flimkien ma 'gassijiet oħra biex toħloq plażma fil-produzzjoni ta' wirjiet tal-pannelli ċatti, bħal wirjiet tal-kristalli likwidi (LCDs) u PDPs. Il-plażma hija essenzjali fil-proċessi ta 'depożizzjoni u inċiżjoni matul il-fabbrikazzjoni tal-pannelli.
Innota li applikazzjonijiet u regolamenti speċifiċi għall-użu ta 'dan il-materjal/prodott jistgħu jvarjaw skont il-pajjiż, l-industrija u l-iskop. Dejjem segwi l-linji gwida tas-sigurtà u ikkonsulta espert qabel tuża dan il-materjal/prodott fi kwalunkwe applikazzjoni.
